电镜镜筒内的电子束通道对真空度要求---，电镜工作必须保持在10-3～10pa以上的真空度（的电镜对真空度的要求更达10pa以上），生物透射电镜测试服务，因为镜筒中的残留气体分子如果与高速电子碰撞，就会产生电离放电和散射电子，从而引起电子束不稳定，增加像差，污染样品，并且残留气体将加速高热灯丝的氧化，缩短灯丝寿命。获得高真空是由各种真空泵来共同配合抽取的。机械泵（旋转泵）机械泵因在其他场合使用非常广泛而比较常见，它工作时是靠泵体内的旋转叶轮刮片将空气吸入、压缩、排放到外界的。机械泵的抽气速度每分钟仅为160l左右 ，工作能力也只能达到0.1～0.01pa，远不能满足电镜镜筒对真空度的要求，所以机械泵只做为真空系统的前级泵来使用。
扫描电子显微镜电子发射出的电子束经过---后汇聚成点光源；点光源在加速电压下形成高能电子束；高能电子束经由两个电磁透镜被---成直径微小的光点，在透过后一级带有扫描线圈的电磁透镜后，电子束以光栅状扫描的方式逐点轰击到样品表面，同时激发出不同---的电子信号。此时，电子信号会被样品上方不同信号的探头接收，通过放大器同步传送到电脑显示屏，形成实时成像记录（图a）。由入射电子轰击样品表面激发出来的电子信号有：俄歇电子（au e）、二次电子（se）、背散射电子（bse）、x射线（特征x射线、连续x射线）、阴极荧光（cl）、吸收电子（ae）和透射电子（图b）。每种电子信号的用途因作用---而异。
大型透射电镜大型透射电镜（conventional tem）一般采用80-300kv电子束加速电压，不同型号对应不同的电子束加速电压，其分辨率与电子束加速电压相关，可达0.2-0.1nm，机型可实现原子级分辨。低压透射电镜低压小型透射电镜（low-voltage electron microscope，lvem）采用的电子束加速电压（5kv）远低于大型透射电镜。较低的加速电压会增强电子束与样品的作用强度，从而使图像衬度、对比度提升，尤其适合高分子、生物等样品；同时，低压透射电镜对样品的损坏较小。 分辨率较大型电镜低，1-2nm。由于采用低电压，可以在一台设备上整合透射电镜、扫描电镜与扫描透射电镜
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