由于电子的德布罗意波长非常短，透射电子显微镜的分辨率比光学显微镜高的很多，可以达到0.1～0.2nm，放大倍数为几万～百万倍。因此，使用透射电子显微镜可以用于观察样品的精细结构，甚至可以用于观察仅仅一列原子的结构，比光学显微镜所能够观察到的的结构小数万倍。tem在中和物理学和生物学相关的许多科学领域都是重要的分析方法，如研究、---学、材料科学、以及纳米技术、半导体研究等等。
扩散泵的工作原理是用电炉将特种扩散泵油加热至蒸汽 状态，高温油蒸汽膨涨向上升起，靠油蒸汽吸附电镜镜体内的气体，从喷嘴朝着扩散泵内壁射出，在环绕扩散泵外壁的冷却水的强制降温下，油蒸汽冷却成液体时析出气体排至泵外，由机械泵抽走气体，油蒸汽冷却成液体后靠重力回落到加热电炉上的油槽里循环使用。扩散泵的抽气速度很快，约为每秒钟570l左右，工作能力也较强，可达10～10pa。但它只能在气体分子较稀薄时使用，这是由于氧气成分较多时易 使高温油蒸气燃烧，扫描电镜能谱技术服务，所以扩散泵通常与机械泵串联使用，在机械泵将镜筒真空度抽到一定程度时，才启动扩散泵。
现在我们发现束流的设置应该是随着放大倍数而变换的，对于tescan用户来说，比较方便，可以直接从软件中读取当前电镜调节对应的束流，结合视野宽度很容易知道单点像素的大小，从而快速找到束斑与像素匹配的工作条件。既---了没有信息丢失，又---了的束流强度和信噪比。
此外对于ebsd分析也一样，ebsd分析为了追求速度，需要较大束流，而束流增---增大束斑，导致花样重叠无法标定。而tescan用户则可以轻易的根据ebsd的步长来设置束斑大小，---在不会出现花样重叠的情况下束斑达到，采集速度快。
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