





电子束的扫描是根据放大倍数和采集像素大小而进行了马赛克的像素化,扫描电镜检测服务,只要束斑缩小到和单点像素匹配就可以,束斑与束斑之间不会出现太多的重叠而导致分辨率下降。只有束斑与单点像素匹配后,再缩小束斑已经没有意义,不会带来分辨率的提升,相反会引起信息的缺失。由此我们可以得到新的结论,虽然束斑越小理论分辨率越高,但是对于实际拍摄来说,像素和束斑越匹配才是效果越好。

在扫描电镜中,入射电子束在样品上的扫描和显像管中电子束在荧光屏上的扫描是用一个共同的扫描发生器控制的。这样就---了入射电子束的扫描和显像管中电子束的扫描完全同步,---了样品上的“物点”与荧光屏上的“象点”在时间和空间上一一对应,称其为“同步扫描”。一般扫描图象是由近100万个与物点一一对应的图象单元构成的,正因为如此,才使得扫描电镜除能显示一般的形貌外,还能将样品局部范围内的化学元素、光、电、磁等性质的差异以二维图象形式显示。

聚光镜处在电子的下方,一般由2~3级组成,从上至下依次称为、第2聚光镜(以c1 和c2表示)。关于电磁透镜的结构和工作原理已经在上一节中介绍,电镜中设置聚光镜的用途是将电子发射出来的电子束流会聚成亮度均匀且照射范围可调的光斑,投射在下面的样品上。c1和c2的结构相似,但极靴形状和工作电流不同,所以形成的磁场强度和用也不相同。c1为强磁场透镜,c2为弱磁场透镜,各级聚光镜组合在一起使用,可以调节照明束斑的直径大小,从而改变了照明亮度的强弱,在电镜---面板上一般都设有对应的调节旋扭。

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