





照相室处在镜筒的下部,内有送片盒(用于储存未---底片)和接收盒(用于收存已---底片)及一套胶片传输机构。电镜生产的厂家、机型不同,片盒的储片数目也不相同,一般在20~50片/盒左右,底片尺寸日本多采用82.5mm×118mm,美国常用82.5mm×101.6mm,而欧州则用90mm×120mm。每张底片都由的一个不锈钢底片夹夹持,电镜技术服务,叠放在片盒内。工作时由输片机构相继有序放底片夹到荧光屏下方电子束成像的位置上。

为什么会出现这样奇怪的现象?为什么---的分辨率却没有得到更真实的图像?前面我们已经说到,电子束是由扫描线圈的脉冲信号控制,电子束在试样表面并不是连续扫描,而是逐点跳跃式的扫描。一般扫描电镜的采集像素比较大,我们会误以为是连续扫描。既然扫描电镜是束斑间断跳跃式的轨迹,那么电子束就有一定的覆盖面积。
束斑中心的距离取决于放大倍数和采集像素大小。当束斑较大时,束斑覆盖比较;但是当束斑减小时,束斑的覆盖区域也越来越小,所以有的特征形貌会从束斑两个跳跃中心穿过而没有被覆盖到,所以相应的形貌特征也不会反映在图像上,这就造成了信息的丢失。像上述例子,在大倍数小,束斑之间跳跃间距小,足够覆盖特征形貌,但是缩小倍数后,跳跃距离变大,束斑不---覆盖所有的特征形貌,有的线条就反映不出来。
还有一种新型的电子场发射式电子---,由1个阴极和2个阳极构成,阳极上施加一稍低(相对第2阳极)的吸附电压,用以将阴极上面的自由电子吸引出来,而第2阳极上面的---电压,将自由电子加速到---的速度发射出电子束流。这需要电压和真空为工作条件,它工作时要求真空度达到10-7pa,热损耗,使用寿命可达2000 h;电子束斑的光点更为尖细,直径可达到10nm以下,较钨丝阴极(大于10nm)缩小了3个数量级;由于发光,它发出光斑的亮度能达到10 a/cm·s,较钨丝阴极(106 a/cm·s )也提高了3个数量级。场发射式电子因技术---、造价昂贵,只应用于高分辨电镜当中。

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