





扫描电镜虽然是显微镜家族中的后起之秀,但由于其本身具有许多的优点,发展速度是很快的。
1 仪器分辨率较高,通过二次电子像能够观察试样表面6nm左右的细节,采用lab6电子,可以进一步提高到3nm。
2 仪器放大倍数变化范围大,且能连续可调。因此可以根据需要选择大小不同的视场进行观察,同时在高放大倍数下也可获得一般透射电镜较难达到的高亮度的清晰图像。
电镜镜筒内的电子束通道对真空度要求---,电镜工作必须保持在10-3~10pa以上的真空度(的电镜对真空度的要求更达10pa以上),因为镜筒中的残留气体分子如果与高速电子碰撞,就会产生电离放电和散射电子,从而引起电子束不稳定,增加像差,污染样品,并且残留气体将加速高热灯丝的氧化,缩短灯丝寿命。获得高真空是由各种真空泵来共同配合抽取的。机械泵(旋转泵)机械泵因在其他场合使用非常广泛而比较常见,它工作时是靠泵体内的旋转叶轮刮片将空气吸入、压缩、排放到外界的。机械泵的抽气速度每分钟仅为160l左右 ,工作能力也只能达到0.1~0.01pa,生物透射电镜检测服务,远不能满足电镜镜筒对真空度的要求,所以机械泵只做为真空系统的前级泵来使用。

通过使用采用电子能量损失光谱学这种---技术的光谱仪,适当的电子可以根据他们的电压被分离出来。这些设备允许选择具有特定能量的电子,由于电子带有的电荷相同,特定能量也就意味着特定的电压。这样,这些特定能量的电子可以与样品发生特定的影响。例如,样品中不同的元素可以导致射出样品的电子能量不同。这种效应通常会导致色散,然而这种效应可以用来产生元素成分的信息图像,根据原子的电子-电子作用。

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