





扫描电子显微镜(scanning electron microscope,sem)是一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器 。具有景深大、分辨率高,成像直观、立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点。另外具有可测样品种类丰富,几乎不损伤和污染原始样品以及可同时获得形貌、结构、成分和结晶学信息等优点。目前,扫描电子显微镜已被广泛应用于生命科学、物理学、化学、、地球科学、材料学以及工业生产等领域的微观研究,仅在地球科学方面就包括了结晶学、矿物学、矿床学、沉积学、地球化学、宝石学、微体古生物、天文地质、油气地质、工程地质和构造地质等。

阳极 为一中心有孔的金属圆筒,半薄切片技术服务,处在阴极下方,当阳极上加有 数十千伏或上百千伏的正高压??加速电压时,将对阴极受热发射出来的自由电子产生---的引力作用,并使之从杂乱无章的状态变为有序的定向运动, 同时把自由电子加速到一定的运动速度(与加速电压有关,前面已经讨论过), 形成一股束流射向阳极靶面。凡在轴心运动的电子束流,将穿过阳极中心的圆孔射出电子外,成为照射样品的光源。

扫描电镜虽然是显微镜家族中的后起之秀,但由于其本身具有许多的优点,发展速度是很快的。
1 仪器分辨率较高,通过二次电子像能够观察试样表面6nm左右的细节,采用lab6电子,可以进一步提高到3nm。
2 仪器放大倍数变化范围大,且能连续可调。因此可以根据需要选择大小不同的视场进行观察,同时在高放大倍数下也可获得一般透射电镜较难达到的高亮度的清晰图像。
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