





扫描电子显微镜是一种多功能的仪器,具有很多的性能,是用途为广泛的一种仪器,它可以进行如下基本分析:
(1)三维形貌的观察和分析;
(2)在观察形貌的同时,进行微区的成分分析。
观察纳米材料。所谓纳米材料就是指组成材料的颗粒或微晶尺寸在0.1~100 nm范围内,在保持表面洁净的条件下加压成型而得到的固体材料。纳米材料具有许多与晶态、非晶态不同的、的物理化学性质。纳米材料有着广阔的发展前景,将成为未来材料研究的重点方向。扫描电子显微镜的一个重要特点就是具有---的分辨率,现已广泛用于观察纳米材料。
高分辨率的图像要求样品尽量的薄,电子束的能量尽量的高。因此可以认为电子不会被样品吸收,样品也就无法改变电子波的振幅。由于在这种情况下样品仅仅对波的相位造成影响,这样的样品被称作纯相位物体。纯相位物体对波相位的影响远---过对波振幅的影响,因此需要复杂的分析来得到观察到的图像强度。例如,为了增加图像的对比度,tem需要稍稍离开---位置一点。这是由于如果样品不是一个相位物体,和tem的对比度传输函数卷积以后将会降低图像的对比度。

现在我们发现束流的设置应该是随着放大倍数而变换的,对于tescan用户来说,比较方便,可以直接从软件中读取当前电镜调节对应的束流,结合视野宽度很容易知道单点像素的大小,铁死亡透射电镜检测,从而快速找到束斑与像素匹配的工作条件。既---了没有信息丢失,又---了的束流强度和信噪比。
此外对于ebsd分析也一样,ebsd分析为了追求速度,需要较大束流,而束流增---增大束斑,导致花样重叠无法标定。而tescan用户则可以轻易的根据ebsd的步长来设置束斑大小,---在不会出现花样重叠的情况下束斑达到,采集速度快。
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