





透射电子显微镜的成像原理可分为三种情况:
吸收像:当电子射到、密度大的样品时,主要的成相作用是散射作用。样品上厚度大的地方对电子的散射角大,通过的电子较少,像的亮度较暗。早期的透射电子显微镜都是基于这种原理。
衍射像:电子束被样品衍射后,扫描电镜eds测试服务,样品不同位置的衍射波振幅分布对应于样品中晶体各部分不同的衍射能力,当出现晶体缺陷时,缺陷部分的衍射能力与完整区域不同,从而使衍射波的振幅分布不均匀,反映出晶体缺陷的分布。
相位像:当样品薄至100?以下时,电子可以穿过样品,波的振幅变化可以忽略,成像来自于相位的变化。
所以反映在电镜图像上,改变焦距的时候会出现两个---的拉伸,拉伸方向可能因样品而不同,但是这两个拉伸方向一定正交。所以此时将焦距调节至两个拉伸明显状态的中间位置,基本固定焦距。然后在此焦距下,进行消像散线圈的调节,先调x或y中的一个维度,待图像达到清楚后再调节另一个维度。
有关拉伸方向的判断并不困难,试样中的各种特征点都可以作为判断依据,比如孔洞或者颗粒,或者样品边缘,都可以轻易的进行判断。尤其在像散比较大时,不要焦距和像散的两个维度乱调一气,以免像散过大而完全无从判断。
高分辨率的图像要求样品尽量的薄,电子束的能量尽量的高。因此可以认为电子不会被样品吸收,样品也就无法改变电子波的振幅。由于在这种情况下样品仅仅对波的相位造成影响,这样的样品被称作纯相位物体。纯相位物体对波相位的影响远---过对波振幅的影响,因此需要复杂的分析来得到观察到的图像强度。例如,为了增加图像的对比度,tem需要稍稍离开---位置一点。这是由于如果样品不是一个相位物体,和tem的对比度传输函数卷积以后将会降低图像的对比度。

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