电镜镜筒内的电子束通道对真空度要求---，电镜工作必须保持在10-3～10pa以上的真空度（的电镜对真空度的要求更达10pa以上），因为镜筒中的残留气体分子如果与高速电子碰撞，就会产生电离放电和散射电子，从而引起电子束不稳定，增加像差，污染样品，并且残留气体将加速高热灯丝的氧化，缩短灯丝寿命。获得高真空是由各种真空泵来共同配合抽取的。机械泵（旋转泵）机械泵因在其他场合使用非常广泛而比较常见，它工作时是靠泵体内的旋转叶轮刮片将空气吸入、压缩、排放到外界的。机械泵的抽气速度每分钟仅为160l左右 ，工作能力也只能达到0.1～0.01pa，远不能满足电镜镜筒对真空度的要求，所以机械泵只做为真空系统的前级泵来使用。
现在我们发现束流的设置应该是随着放大倍数而变换的，对于tescan用户来说，比较方便，可以直接从软件中读取当前电镜调节对应的束流，结合视野宽度很容易知道单点像素的大小，从而快速找到束斑与像素匹配的工作条件。既---了没有信息丢失，又---了的束流强度和信噪比。
此外对于ebsd分析也一样，ebsd分析为了追求速度，需要较大束流，而束流增---增大束斑，导致花样重叠无法标定。而tescan用户则可以轻易的根据ebsd的步长来设置束斑大小，---在不会出现花样重叠的情况下束斑达到，采集速度快。
c1、c2的工作原理是通过改变聚光透镜线圈中的电流，来达到改变透镜所形成的磁场强度的变化，植物自噬透射电镜技术服务，磁场强度的变化（亦即折射率发生变化）能使电子束的会聚点上下移动，在样品表面上电子束斑会聚得越小，能量越集中，亮度也越大；反之束斑发散，照射区域变大则亮度就减小。通过调整聚光镜电流来改变照明亮度的方法，实际上是一个间接的调整方法，亮度的大值受到电子束流量的---。如想程度上改变照明亮度，只有通调整前面提到的电子---中的栅极偏压，才能从---上改变电子束流的大小。在c2上通常 装配有活动光阑，用以改变光束照明的孔径角，一方面可以---投射在样品表面的照明区域，使样品上无需观察的部分免受电子束的轰击损伤；另一方面也能减少散射电子等不利信号带来的影响。
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