透射电子显微镜(transmission electron microscope，简称tem)，可以看到在光学显微镜下无法看清的小于0.2um的细微结构，这些结构称为亚显微结构或超微结构。要想看清这些结构，就必须选择波长更短的光源，以提高显微镜的分辨率。1932年ruska发明了以电子束为光源的透射电子显微镜，电子束的波长要比可见光和紫外光短得多，并且电子束的波长与发射电子束的电压平方根成反比，也就是说电压越高波长越短。tem的分辨力可达0.2nm。
阳极 为一中心有孔的金属圆筒，处在阴极下方，当阳极上加有 数十千伏或上百千伏的正高压??加速电压时，将对阴极受热发射出来的自由电子产生---的引力作用，并使之从杂乱无章的状态变为有序的定向运动， 同时把自由电子加速到一定的运动速度（与加速电压有关，前面已经讨论过）， 形成一股束流射向阳极靶面。凡在轴心运动的电子束流，将穿过阳极中心的圆孔射出电子外，成为照射样品的光源。
现在我们发现束流的设置应该是随着放大倍数而变换的，对于tescan用户来说，比较方便，可以直接从软件中读取当前电镜调节对应的束流，结合视野宽度很容易知道单点像素的大小，从而快速找到束斑与像素匹配的工作条件。既---了没有信息丢失，又---了的束流强度和信噪比。
此外对于ebsd分析也一样，ebsd分析为了追求速度，需要较大束流，植物组织电镜检测服务，而束流增---增大束斑，导致花样重叠无法标定。而tescan用户则可以轻易的根据ebsd的步长来设置束斑大小，---在不会出现花样重叠的情况下束斑达到，采集速度快。
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