





tem系统由以下几部分组成
电子:发射电子,由阴极、栅极、阳极组成。阴极管发射的电子通过栅极上的小孔形成射线束,经阳极电压加速后射向聚光镜,起到对电子束加速、加压的作用。
聚光镜:将电子束---,可用已控制照明强度和孔径角。
样品室:放置待观察的样品,并装有倾转台,用以改变试样的角度,还有装配加热、冷却等设备。
物镜:为放大率---的短距透镜,作用是放大电子像。物镜是决定透射电子显微镜分辨能力和成像的关键。
中间镜:为可变倍的弱透镜,作用是对电子像进行二次放大。通过调节中间镜的电流,可选择物体的像或电子衍射图来进行放大。
透射镜:为高倍的强透镜,用来放大中间像后在荧光屏上成像。此外还有二级真空泵来对样品室抽真空、照相装置用以记录影像。
现在我们发现束流的设置应该是随着放大倍数而变换的,对于tescan用户来说,比较方便,透射电镜测试服务,可以直接从软件中读取当前电镜调节对应的束流,结合视野宽度很容易知道单点像素的大小,从而快速找到束斑与像素匹配的工作条件。既---了没有信息丢失,又---了的束流强度和信噪比。
此外对于ebsd分析也一样,ebsd分析为了追求速度,需要较大束流,而束流增---增大束斑,导致花样重叠无法标定。而tescan用户则可以轻易的根据ebsd的步长来设置束斑大小,---在不会出现花样重叠的情况下束斑达到,采集速度快。
---控制有手控和自控两种方法,快门启动装置通常并联在活动荧光屏板的扳手柄上。电子束流的大小可由探测器检测,给操作者以---指示;或者应用全自动---模式由计算机控制,按程序选择---亮度和---时间完成影像的拍摄记录。现代电镜都可以在底片上打印出每张照片拍摄时的工作参数,如:加速电压值、放大率 、微米标尺、简要文字说明、成像日期、底片序列号及操作者注解等备查的记录参数。观察室与照相室之间有真空隔离阀。以便在更换底片时,只打开照相室而不影响整个镜筒的真空。

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