





可进行综合分析。装上波长色散x射线谱仪(wdx)或能量色散x射线谱仪(edx),使具有电子探针的功能,也能检测样品发出的反射电子、x射线、阴极荧光、透射电子、俄歇电子等。把扫描电镜扩大应用到各种显微的和微区的分析方式,显示出了扫描电镜的多功能。另外,还可以在观察形貌图象的同时,对样品任选微区进行分析;装上半导体试样座附件,通过电动势象放大器可以直接观察晶体管或集成电路中的pn结和微观缺陷。由于不少扫描电镜电子探针实现了电子计算机自动和半自动控制,因而---提高了定量分析的速度。

tem常见的操作模式是亮场成像模式。在这一模式中,---的对比度信息根据样品对电子束的吸收所获得。样品中较厚的区域或者含有原子数较多的区域对电子吸收较多,于是在图像上显得比较暗,而对电子吸收较小的区域看起来就比较亮,这也是亮场这一术语的来历。图像可以认为是样品沿光轴方向上的二维投影,而且可以使用比尔定律来近似。对亮场模式的更复杂的分析需要考虑到电子波穿过样品时的相位信息。

大型透射电镜大型透射电镜(conventional tem)一般采用80-300kv电子束加速电压,不同型号对应不同的电子束加速电压,其分辨率与电子束加速电压相关,植物抗性淀粉检测技术服务,可达0.2-0.1nm,机型可实现原子级分辨。低压透射电镜低压小型透射电镜(low-voltage electron microscope,lvem)采用的电子束加速电压(5kv)远低于大型透射电镜。较低的加速电压会增强电子束与样品的作用强度,从而使图像衬度、对比度提升,尤其适合高分子、生物等样品;同时,低压透射电镜对样品的损坏较小。 分辨率较大型电镜低,1-2nm。由于采用低电压,可以在一台设备上整合透射电镜、扫描电镜与扫描透射电镜

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