





透射电子显微镜的成像原理可分为三种情况:
吸收像:当电子射到、密度大的样品时,主要的成相作用是散射作用。样品上厚度大的地方对电子的散射角大,通过的电子较少,像的亮度较暗。早期的透射电子显微镜都是基于这种原理。
衍射像:电子束被样品衍射后,样品不同位置的衍射波振幅分布对应于样品中晶体各部分不同的衍射能力,当出现晶体缺陷时,缺陷部分的衍射能力与完整区域不同,从而使衍射波的振幅分布不均匀,反映出晶体缺陷的分布。
相位像:当样品薄至100?以下时,电子可以穿过样品,波的振幅变化可以忽略,成像来自于相位的变化。
c1、c2的工作原理是通过改变聚光透镜线圈中的电流,鞭毛负染观察测试服务,来达到改变透镜所形成的磁场强度的变化,磁场强度的变化(亦即折射率发生变化)能使电子束的会聚点上下移动,在样品表面上电子束斑会聚得越小,能量越集中,亮度也越大;反之束斑发散,照射区域变大则亮度就减小。通过调整聚光镜电流来改变照明亮度的方法,实际上是一个间接的调整方法,亮度的大值受到电子束流量的---。如想程度上改变照明亮度,只有通调整前面提到的电子---中的栅极偏压,才能从---上改变电子束流的大小。在c2上通常 装配有活动光阑,用以改变光束照明的孔径角,一方面可以---投射在样品表面的照明区域,使样品上无需观察的部分免受电子束的轰击损伤;另一方面也能减少散射电子等不利信号带来的影响。

聚光镜处在电子的下方,一般由2~3级组成,从上至下依次称为、第2聚光镜(以c1 和c2表示)。关于电磁透镜的结构和工作原理已经在上一节中介绍,电镜中设置聚光镜的用途是将电子发射出来的电子束流会聚成亮度均匀且照射范围可调的光斑,投射在下面的样品上。c1和c2的结构相似,但极靴形状和工作电流不同,所以形成的磁场强度和用也不相同。c1为强磁场透镜,c2为弱磁场透镜,各级聚光镜组合在一起使用,可以调节照明束斑的直径大小,从而改变了照明亮度的强弱,在电镜---面板上一般都设有对应的调节旋扭。

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