





扫描电子显微镜电子发射出的电子束经过---后汇聚成点光源;点光源在加速电压下形成高能电子束;高能电子束经由两个电磁透镜被---成直径微小的光点,在透过后一级带有扫描线圈的电磁透镜后,植物重金属电镜技术服务,电子束以光栅状扫描的方式逐点轰击到样品表面,同时激发出不同---的电子信号。此时,电子信号会被样品上方不同信号的探头接收,通过放大器同步传送到电脑显示屏,形成实时成像记录(图a)。由入射电子轰击样品表面激发出来的电子信号有:俄歇电子(au e)、二次电子(se)、背散射电子(bse)、x射线(特征x射线、连续x射线)、阴极荧光(cl)、吸收电子(ae)和透射电子(图b)。每种电子信号的用途因作用---而异。

透射电子显微镜的成像原理可分为三种情况:
吸收像:当电子射到、密度大的样品时,主要的成相作用是散射作用。样品上厚度大的地方对电子的散射角大,通过的电子较少,像的亮度较暗。早期的透射电子显微镜都是基于这种原理。
衍射像:电子束被样品衍射后,样品不同位置的衍射波振幅分布对应于样品中晶体各部分不同的衍射能力,当出现晶体缺陷时,缺陷部分的衍射能力与完整区域不同,从而使衍射波的振幅分布不均匀,反映出晶体缺陷的分布。
相位像:当样品薄至100?以下时,电子可以穿过样品,波的振幅变化可以忽略,成像来自于相位的变化。
在放大倍数较低的时候,tem成像的对比度主要是由于材料不同的厚度和成分造成对电子的吸收不同而造成的。而当放大率倍数较高的时候,复杂的波动作用会造成成像的亮度的不同,因此需要知识来对所得到的像进行分析。通过使用tem不同的模式,可以通过物质的化学特性、晶体方向、电子结构、样品造成的电子相移以及通常的对电子吸收对样品成像。台tem由马克斯·克诺尔和恩斯特·鲁斯卡在1931年研制,这个研究组于1933年研制了台分辨率超过可见光的tem,而台商用tem于1939年研制成功。

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