





分辨率是扫描电镜基本的性能判断指标,首先我们要弄清扫描电镜分辨率的一些细节问题。
通常有关分辨率的问题,都会遵循瑞利判据。即一个光点按照衍射理论会是一个衍射斑,两个光点逐步靠近时,对应的衍射斑也从分离趋于重合。当两个衍射斑的半高宽重叠,则认为不可区分了。此时两个衍射斑之间的距离即为分辨率,。
但一般单帧图像的仪器才完全符合此规律,比如tem、光学显微镜等。扫描电镜的分辨率以瑞利判据为基础,但也却略有不同。扫描电镜是属于电子束移动型的,并不完全适用半高宽重合的概念。
扫描电镜的分辨率分为理论分辨率、验收分辨率,和一般测试过程中能达到的分辨率。
电镜镜筒内的电子束通道对真空度要求---,电镜工作必须保持在10-3~10pa以上的真空度(的电镜对真空度的要求更达10pa以上),因为镜筒中的残留气体分子如果与高速电子碰撞,透射电镜检测技术服务,就会产生电离放电和散射电子,从而引起电子束不稳定,增加像差,污染样品,并且残留气体将加速高热灯丝的氧化,缩短灯丝寿命。获得高真空是由各种真空泵来共同配合抽取的。机械泵(旋转泵)机械泵因在其他场合使用非常广泛而比较常见,它工作时是靠泵体内的旋转叶轮刮片将空气吸入、压缩、排放到外界的。机械泵的抽气速度每分钟仅为160l左右 ,工作能力也只能达到0.1~0.01pa,远不能满足电镜镜筒对真空度的要求,所以机械泵只做为真空系统的前级泵来使用。

生物医学样品在做透射电镜观察时,基本上都是将原始样品以环氧树脂包埋,然后用非常精密的超薄切片机切成薄片,刀具为的玻璃刀或者是钻石刀。切下的生物医学样品的厚度通常只有几十个纳米(nm),这在一般情况下用肉眼是不能直接看到的,必须让切片飘浮在水面上,由操作熟练的---借助特殊的照明光线,并以特殊的角 度才能观察到如此薄的切片。切好的薄片被捞放在铜网上,经过染色和干燥后才能用于观察.透射电镜样品的制作是一个漫长、复杂而又精密的过程,技术性非常强。但是我们前面介绍过,要想获得优良的电镜影像,制做优良的样品标本乃是非常重要的步。

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