





分辨率是扫描电镜基本的性能判断指标,透射电镜三维重构检测技术服务,首先我们要弄清扫描电镜分辨率的一些细节问题。
通常有关分辨率的问题,都会遵循瑞利判据。即一个光点按照衍射理论会是一个衍射斑,两个光点逐步靠近时,对应的衍射斑也从分离趋于重合。当两个衍射斑的半高宽重叠,则认为不可区分了。此时两个衍射斑之间的距离即为分辨率,。
但一般单帧图像的仪器才完全符合此规律,比如tem、光学显微镜等。扫描电镜的分辨率以瑞利判据为基础,但也却略有不同。扫描电镜是属于电子束移动型的,并不完全适用半高宽重合的概念。
扫描电镜的分辨率分为理论分辨率、验收分辨率,和一般测试过程中能达到的分辨率。
在一定的界限内,灯丝发射出来的自由电子量与加热电流强度成正比,但在---这个界限后,电流继续加大,只能降低灯丝的使用寿命,却不能增大自由电子的发射量,我们把这个临界点称做灯丝饱和点,意即自由电子的发射量已达“满额”,无以复加。正常使用常把灯丝的加热电---整设定在接近饱和而不到的位置上,称做“欠饱和点”。这样在---能获得较大的自由电子发射量的情况下,可以限度地延长灯丝的使用寿命。钨制灯丝的正常使用寿命为40h左右,现代电 镜中有时使用新型材料六硼化---(lab6)来制作灯丝,其价格较贵,但发光、亮度大(能提高一个数量级),并且使用寿命远较钨制灯丝长得多,可以达到1000h ,是一种---的新型材料。

透射电子显微镜(transmission electron microscope,简称tem),可以看到在光学显微镜下无法看清的小于0.2um的细微结构,这些结构称为亚显微结构或超微结构。要想看清这些结构,就必须选择波长更短的光源,以提高显微镜的分辨率。1932年ruska发明了以电子束为光源的透射电子显微镜,电子束的波长要比可见光和紫外光短得多,并且电子束的波长与发射电子束的电压平方根成反比,也就是说电压越高波长越短。tem的分辨力可达0.2nm。

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