电镜中加速电压va也是可调的，va增大时，电子束的波长λ缩短，有利于电镜分辨力的提高。同时穿透能力增强，对样品的热损伤小，但此时会由于电子束与样品碰撞，导致弹性散射电子的散射角随之增大，成像反差会因此而有所下降，所以，在不追求高分辨率观察应用时，选择较低的加速电压反而可以获得较大的成像反差，尤其对于自身反差对比较小的生物样品，选用较低的加速电压有时是有利的。
阳极 为一中心有孔的金属圆筒，处在阴极下方，当阳极上加有 数十千伏或上百千伏的正高压??加速电压时，将对阴极受热发射出来的自由电子产生---的引力作用，并使之从杂乱无章的状态变为有序的定向运动， 同时把自由电子加速到一定的运动速度（与加速电压有关，前面已经讨论过）， 形成一股束流射向阳极靶面。凡在轴心运动的电子束流，扫描电镜能谱检测技术服务，将穿过阳极中心的圆孔射出电子外，成为照射样品的光源。
可进行综合分析。装上波长色散x射线谱仪（wdx）或能量色散x射线谱仪（edx），使具有电子探针的功能，也能检测样品发出的反射电子、x射线、阴极荧光、透射电子、俄歇电子等。把扫描电镜扩大应用到各种显微的和微区的分析方式，显示出了扫描电镜的多功能。另外，还可以在观察形貌图象的同时，对样品任选微区进行分析；装上半导体试样座附件，通过电动势象放大器可以直接观察晶体管或集成电路中的pn结和微观缺陷。由于不少扫描电镜电子探针实现了电子计算机自动和半自动控制，因而---提高了定量分析的速度。
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