





直接观察大试样的原始表面。它能够直接观察直径100 mm,高50 mm,或尺寸的试样,对试样的形状没有任何---,粗糙的表面也能观察,这便免除了制备样品的麻烦,而且能真实观察试样本身物质成分不同的衬度(背反射电子象)。
观察厚试样。其在观察厚试样时,能得到高的分辨率和真实的形貌。扫描电子显微的分辨率介于光学显微镜和透射电子显微镜之间。但在对厚块试样的观察进行比较时,因为在透射电子显微镜中还要采用复膜方法,而复膜的分辨率通常只能达到10 nm,且观察的不是试样本身,因此,用扫描电子显微镜观察厚块试样更有利,更能得到真实的试样表面资料。
还有一种新型的电子场发射式电子---,由1个阴极和2个阳极构成,阳极上施加一稍低(相对第2阳极)的吸附电压,用以将阴极上面的自由电子吸引出来,而第2阳极上面的---电压,将自由电子加速到---的速度发射出电子束流。这需要电压和真空为工作条件,它工作时要求真空度达到10-7pa,热损耗,使用寿命可达2000 h;电子束斑的光点更为尖细,直径可达到10nm以下,较钨丝阴极(大于10nm)缩小了3个数量级;由于发光,它发出光斑的亮度能达到10 a/cm·s,较钨丝阴极(106 a/cm·s )也提高了3个数量级。场发射式电子因技术---、造价昂贵,只应用于高分辨电镜当中。

平时电镜使用者都进行常规样品的观察,常规样品不像分辨率标准样品那么理想,样品比较复杂,花药扫描电镜技术服务,而且有时候关注点并不相同。因此我们要根据样品类型以及所关注的问题选择合适的电镜条件。
关注分辨率、衬度、景深、形貌的真实性、其它分析的需要等等,不同的关注点之间需要不同的电镜条件,有时甚至相互矛盾。因此我们必须明确拍摄目的,寻找适合的电镜条件,而不是贸然的追求大倍数。
电镜的工作条件包括很多,加速电压、束流束斑、工作距离、光阑大小、明暗对比度、探测器的选择等。本期将为大家介绍束流束斑的选择。
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